【化學蒸汽沉積法】
英語翻譯：chemicalvapordepositionmethod
【辭書名稱】資訊與通信術語辭典
指以沉積方式生長晶片的方法，以鈍氣（如氦氣、氬氣）為載體，將汽化的金屬氯化物流過單晶基片時，金屬可在其上沉積。
本法的優點是厚度均勻但生長的速度慢。
轉自:http://edic.nict.gov.tw/cgi-bin/tudic/gsweb.cgi?o=ddictionary
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